壓電陶瓷管掃描器與光纖章動跟蹤
壓電陶瓷管掃描器是可以XYZ三維運動的壓電陶瓷管，用于三維微掃描與定位，如AFM原子力顯微鏡等。
結構形式-四區分割電極
工作方式及原理
壓電陶瓷管掃描器為壁厚比較薄、徑向極化、外壁四個電極、內壁一體或者分區電極的壓電陶瓷管，當外部施加一個正電壓到某一個區域時，陶瓷管垂直方向收縮，使陶瓷管頂部產生比較大的傾斜，同時施加電壓會使陶瓷軸向或徑向膨脹和收縮。
電極
可選化學鍍鎳、化學鍍鎳和金。也可接受電極定制。
驅動方式與位移計算
標準品技術參數
定制產品尺寸范圍
壓電陶瓷管掃描器用于光纖章動跟蹤
壓電陶瓷管掃描器體積小巧以及掃描速度快等特點，使其非常適于光纖章動跟蹤。采用光纖章動跟蹤方法，進行空間激光到單模光纖的耦合。章動運動如下圖所示。
壓電陶瓷管掃描器的外徑可小于3mm，體積非常小巧，非常便于集成。掃描范圍為幾微米甚至可達上百微米，且響應速度可達亞毫秒，頻率達5kHz甚至更高，可滿足光纖章動跟蹤的要求。
