電容式測微儀是毫米級測量范圍、納米級測量精度的儀器。測微儀包括電感測微儀、電容測微儀、激光測微儀三種類型，主要用于高精度測量長度、厚度、深度、錐度等應用。
在電容微位移測量中，電容位移傳感器對微位移的測量越、響應速度越快、非線性越小，整體性能就越好。首先由傳感器感受微位移的變化，并將其轉換成電容量的變化，然后經過信號轉換電路將電容量的變化轉換成可測的電壓信號，然后利用A/D轉換器實現信號的采集，由單片機進行信號的處理和傳輸。終實時顯示，并進行線性擬合給出相關數據。
以電容式微位移傳感器為基礎，利用運算放大器測量電路原理，當恒定頻率的正弦激勵電流通過傳感器電容時，傳感器上產生的電壓幅值與電容極板間隙成比例關系。主放大器具有高輸入阻抗，保證足夠大的開環增益以實現高精度運算，其輸出為一調幅波，幅值的變化與被測位移變化一一對應。通過全波整流電路、增益濾波電路對放大的被測信號進行解調，后進入A/D轉換進行數據處理，在單片機的控制下完成數據的顯示等過程，提高了輸出信號的抗干擾性。
電容式非接觸式測微儀，通過電容測頭可以測量0-200μm范圍內的微小位移，測量精度為納米級。測微儀由機箱與傳感模塊組成，可組成多測量通道數。 它基于一個理想的平行板電容器原理，傳感器與相對面被測目標形成的兩個電極，采用保護環電容器原理，用于測量任何金屬時，傳感器仍是線性的。
