壓電驅動宏微復合機構在精密定位中的應用
精密定位技術對定位系統的精度和行程提出了越來越高的要求，壓電機構驅動宏微復合對這一要求提供了關鍵的技術支持，解決了其要求行程大、定位精度高等技術難題，同時還具備了體積小、響應速度快、出力大等技術優勢。
芯明天壓電宏微復合機構是手動調節與電壓調節相結合的超精密定位臺。控制結構分為兩部分，一部分為手動調節臺，通過千分尺進行調節；另一部分為壓電納米定位臺，內部由壓電陶瓷驅動，通過施加電壓來控制。在粗調機構中，可調整的直線運動行程為13mm，分辨率為10μm。在精調機構中，可調整的直線運動行程可達100μm，分辨率為2.5nm。可通過兩種調節結合來達到納米級定位精度。
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以P84系列壓電宏微復合機構為例
特點：
· X向運動，1至3維自由組合；
· 易于調節，分辨率可達2.5nm
· 粗調行程13mm/軸
· 精調行程100μm/軸
· 壓電調節可選配閉環傳感器
· 結構緊湊，體積小巧
技術參數：
型號 | 尾輟S-閉環 | P84.X100S P84.X100K | 單位 |
尾輟K-開環 | |||
運動自由度 | X | ||
行程范圍（粗調+精調） | 13mm+100µm | mm+µm | |
殼體材料 | 鋼、鋁 | ||
手動調節部分-千分尺 | |||
粗調行程范圍 | 13 | mm | |
粗調分辨率 | 10 | µm | |
驅動方式 | 螺紋副（分厘卡） | ||
靈敏度 | <2 | µm | |
讀數精度 | 10 | 微米/格 | |
螺距 | 0.5 | mm/rev. | |
壓電驅動精調部分-壓電驅動 | |||
精調行程范圍 | 0~120 V | 80 | µm±20% |
0~150 V | 100 | µm±20% | |
傳感器類型 | SGS/- | ||
步進（分辨率） | 7/2.5 | nm, typ. | |
閉環線性度 | 0.1/- | %F.S. | |
重復定位精度 | 0.05/- | %F.S. | |
運動方向推力 | 16 | N | |
運動方向的剛度 | 1 | N/µm±20% | |
承載能力（Z向） | 500 | g | |
工作溫度范圍 | -20~80 | °C | |
靜電容量 | 1.8 | µF±20% | |
P84宏微復合機構可與宏動平臺配合使用，1~3維自由組合，組成大行程高精度運動平臺。
