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壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)微定位偏擺臺(tái)在微納米技術(shù)領(lǐng)域應(yīng)用廣泛，通常是所應(yīng)用系統(tǒng)中的關(guān)鍵部件。芯明天壓電偏擺臺(tái)通過(guò)壓電陶瓷為驅(qū)動(dòng)源，內(nèi)部采用無(wú)回差柔性鉸鏈并聯(lián)結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，進(jìn)行精密角度調(diào)整，具有體積小巧、結(jié)構(gòu)緊湊、無(wú)機(jī)械摩擦、定位精度高等優(yōu)點(diǎn)，確保了產(chǎn)品具有良好的偏轉(zhuǎn)精度和穩(wěn)定性且響應(yīng)速度快，在激光光束掃描以及激光合束等領(lǐng)域擁有廣泛應(yīng)用前景。

P54系列壓電偏擺臺(tái)

芯明天P54壓電偏擺臺(tái)是中心通孔二維θxθy軸壓電偏擺臺(tái)，采用無(wú)摩擦柔性鉸鏈結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，響應(yīng)速度快、閉環(huán)定位精度高，80×80mm中心大透空孔方便集成于顯微及掃描等光學(xué)系統(tǒng)中。

特點(diǎn)：

·  θx, θy偏擺運(yùn)動(dòng)

·  開(kāi)環(huán)/閉環(huán)可選擇

·  80×80mm大通孔

·  分辨率高

·  外形薄

閉環(huán)傳感精度高：

P54系列壓電偏轉(zhuǎn)臺(tái)內(nèi)部柔性鉸鏈導(dǎo)向機(jī)構(gòu)采用有限元分析優(yōu)化，使角度偏移達(dá)到小，無(wú)空回、無(wú)摩擦。

采用壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)實(shí)現(xiàn)大偏轉(zhuǎn)范圍±1mrad，分辨率高達(dá)0.05μrad，可選擇配置閉環(huán)傳感器實(shí)現(xiàn)0.1%F.S.的重復(fù)定位精度。

臺(tái)體非常薄，厚度僅為20mm，中心通孔尺寸為80×80mm，廣泛應(yīng)用于亞微弧度精密光束調(diào)整、計(jì)量、定位等領(lǐng)域。

負(fù)載大鏡片：

P54壓電偏轉(zhuǎn)臺(tái)中心大通光孔達(dá)80×80mm，非常適用于需要透射光的應(yīng)用，負(fù)載后仍可高動(dòng)態(tài)高精度的掃描。

頻率負(fù)載曲線(xiàn)：

階躍時(shí)間：

P54.T2S壓電偏擺臺(tái)，空載時(shí)到達(dá)滿(mǎn)行程的階躍時(shí)間約20ms。

技術(shù)參數(shù)：