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N62系列壓電掃描臺(tái)為XY軸平移掃描臺(tái)，機(jī)構(gòu)放大設(shè)計(jì)原理，中心通孔孔徑為26mm，可以實(shí)現(xiàn)XY軸±10μm的位移行程，產(chǎn)品體積小巧、結(jié)構(gòu)緊湊易于集成與安裝。

高動(dòng)態(tài)、高分辨率、高定位精度

N62系列壓電掃描臺(tái)為小體積高精度平移掃描臺(tái)，是特別為高分辨率、高動(dòng)態(tài)、高定位精度應(yīng)用而設(shè)計(jì)的XY軸掃描臺(tái)，內(nèi)置高可靠性壓電陶瓷，可以實(shí)現(xiàn)XY軸±10μm的位移行程，分辨率可以達(dá)到0.5nm，滿行程重復(fù)定位精度達(dá)納米級。

產(chǎn)品采用不銹鋼材質(zhì)，特殊的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)使其具有非常大的剛度，空載諧振頻率達(dá)2000Hz，滿足工業(yè)上對高頻率高精度等應(yīng)用的需求。

動(dòng)態(tài)性能好

N62.XY20K帶載10g負(fù)載在500Hz頻率下位移曲線。

技術(shù)參數(shù)

型號：N62

運(yùn)動(dòng)自由度：X、Y

行程范圍@120V： ±8μm/軸

行程范圍@150V：±10μm/軸

閉環(huán)傳感器：SGS

通孔尺寸：Ø26 mm

閉/ 開環(huán)分辨率：1/0.5 nm

閉環(huán)線性度：0.3%F.S

閉環(huán)重復(fù)定位精度：0.1%F.S

運(yùn)動(dòng)方向剛度：X2.2/Y2.2 N/μm

空載諧振頻率：X2000/Y2000 Hz

閉/ 開環(huán)空載階躍時(shí)間：1.5/0.7 ms

大承載：1kg

靜電容量：1.6μF/軸

材質(zhì)：鋼、鋁

重量：180g

配套壓電控制器

E70.D3S是一款小體積、大功率、低功耗、高帶寬、低紋波噪聲的3通道壓電陶瓷控制器。該控制器采用運(yùn)放電路保證了高壓大電流的輸出能力，通過優(yōu)化傳感伺服模塊從而提高了PI調(diào)節(jié)與控制的精準(zhǔn)度與穩(wěn)定性，可靠的抗干擾設(shè)計(jì)保證了控制器的高頻響應(yīng)速度。

采用DC24V 供電、集成數(shù)字與模擬控制功能、RS-232/RS-422/USB 通訊可選、集成式PZT&sensor 迷你接口便于連接，外部可設(shè)定控制功能，操作簡單便捷。

技術(shù)參數(shù)

型號：E70.D3S-I2

功能：數(shù)字與模擬集成式控制器

通道數(shù)：3

模擬輸入范圍：0-10V

輸出電壓范圍：0-120V/150V第三路恒壓

峰值電流：1.1A/通道

平均電流：70mA/通道

放大器帶寬：10kHz/通道

輸出電壓紋波：5mV（2.2μF）

PZT連接器：ECG.1B.314（LEMO）

控制輸入連接器：SMB

傳感器類型：SGS

伺服特性：P.I+ 低通+ 陷波

傳感輸出紋波：10mV

通信接口：RS-232/422、USB

工作溫度范圍：0-50℃

尺 寸：168.5×134×45.5mm

重 量：1.2kg

供電電壓：24V DC1.5A(36W)

控制方式：模擬/ 數(shù)字信號控制