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作為微納操作系統(tǒng)中的一個(gè)末端執(zhí)行機(jī)構(gòu)，微動(dòng)夾鉗主要完成微小尺寸樣品的夾取、搬運(yùn)、放置與釋放。壓電鉗通過傳動(dòng)機(jī)構(gòu)，將電壓轉(zhuǎn)化為鉗口的位移輸出，通過鉗口閉合實(shí)現(xiàn)微操作對象的夾持，張開實(shí)現(xiàn)微操作對象的釋放。

芯明天研發(fā)生產(chǎn)的微動(dòng)壓電鉗是由壓電陶瓷疊堆驅(qū)動(dòng)，采用柔性鉸鏈機(jī)械放大結(jié)構(gòu)，具有分辨率高、響應(yīng)速度快、無摩擦等特點(diǎn)。夾持位移可達(dá)100微米，是微納操作系統(tǒng)中*的執(zhí)行器件。

特點(diǎn)

• 夾持位移達(dá)100μm

• 亞毫秒級響應(yīng)時(shí)間

• 諧振頻率達(dá)1.5kHz

技術(shù)參數(shù)

型號：XD002-D2

運(yùn)動(dòng)自由度：X

行程范圍（0~120V）：80μm

行程范圍（0~150V）：100μm

推/拉力：10/1N

運(yùn)動(dòng)方向剛度：0.04N/μm

空載諧振頻率：1500Hz

空載階躍時(shí)間：0.7ms

空載滿行程工作頻率：300Hz

大承載：0.05kg

靜電容量：0.18μF

材質(zhì)：不銹鋼

重量：10g

驅(qū)動(dòng)控制

E53.A壓電控制器非常適合驅(qū)動(dòng)XD-002系列微動(dòng)壓電鉗，即可保證快速的響應(yīng)時(shí)間，又可保證壓電鉗的工作穩(wěn)定性。同時(shí)E53系列壓電控制器的外形非常緊湊，體積小巧，易于集成。

定制版壓電鉗

夾持行程：500μm@150V

靜電容量：1.6μF

空載諧振頻率:180Hz

材質(zhì):鈦合金

夾持行程：1000μm@150V

靜電容量：3.4μF

空載諧振頻率：110Hz

材質(zhì)：鈦合金

夾持行程：1000μm@150V

靜電容量：3.6μF

空載諧振頻率：90Hz

重復(fù)定位精度：0.5%F.S.

位移傳感器：有

材質(zhì)：鈦合金