N35系列壓電偏轉鏡
特點
•θx、θy二維偏轉 •大角度偏轉達50mrad •閉環分辨率達2μrad •可選配閉環傳感器
結構簡介
N35壓電偏轉鏡（兩軸運動）是基于平行運動學設計，具有共面軸及移動面。四個執行機構（PZT壓電陶瓷驅動器）以90°角平分放置，成對的差分控制分布。兩對差分驅動壓電促動器在較大溫度范圍內提供可實現的角度穩定性。它的偏擺運動是由兩對壓電促動器以推拉模式來實現，采用橋式連接電路控制。
高可靠性及長壽命、高穩定性及動態性
N35系列壓電偏轉鏡系統內部裝配帶有預緊力的高可靠性壓電促動器，被集成在經過FEA建模分析的鉸鏈導向系統。壓電促動器為疊堆共燒型壓電陶瓷，可提供更好的穩定性及可靠性。
壓電促動器、導向機構及傳感器是免維護的，不易損壞且提供超高的可靠性。
先進的鉸鏈/杠桿設計將慣性小化，允許50mrad的大角度俯仰/偏轉范圍（可將光束偏轉 100mrad），且具有非?？斓捻憫俣?，在毫秒級范圍。
除了大偏轉角度及高動態，N35還提供了微弧度的分辨率。內部集成高分辨率、全橋的應變傳感器（SGS）實現了精確的位置控制，具有優異的重復定位精度，通常為滿行程的0.02%。
N35壓電偏轉鏡角度測量
技術參數
型號：N35.T40S/K
運動自由度：θxθy
偏轉角度@120V：40mrad（≈8250秒）
偏轉角度@150V：50mrad（≈10300秒）
傳感器類型：SGS/-
閉/開環分辨率：2/1 µrad
閉環線性度：0.05%F.S.
閉環重復度：0.02%F.S.
空載諧振頻率：1300Hz
帶載諧振頻率(12.7mm×3mm鏡片)：1050Hz
閉/開環階躍時間：1.4/1ms
靜電容量：14.5μF
材質：鈦合金
重量：223g
推薦控制器 - E70.D3S壓電控制器
E70.D3S壓電控制器為小體積壓電控制器，具有3個輸出通道，可含一路恒壓輸出，非常適于驅動N35系列壓電偏轉鏡。
