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P16系列壓電平臺(tái)是以小體積、大位移而聞名，它的外形尺寸僅60×60×20mm，位移行程可選50μm或100μm，非常小的體積及較低的高度提供了較大的位移。

P16系列XY二維運(yùn)動(dòng)壓電平臺(tái)，它的中心具有φ20mm的中心通孔，非常適用于光學(xué)應(yīng)用。

近期，芯明天公司對(duì)P16系列進(jìn)行了升級(jí)，對(duì)結(jié)構(gòu)和外觀進(jìn)行了改善，使之更加一體化，同時(shí)，可靠性也大幅提高。

安裝接口

需帶載的負(fù)載可通過(guò)移動(dòng)面上間距25mm的4個(gè)M3螺紋孔或間距16mm的4個(gè)M2螺紋孔進(jìn)行固定，機(jī)械接口，安裝便捷。

驅(qū)動(dòng)原理

P16系列壓電平臺(tái)是一款特別的運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，它采用差分式驅(qū)動(dòng)控制，雖然是二維運(yùn)動(dòng)，但它需要一臺(tái)具有恒壓的三通道壓電控制器驅(qū)動(dòng)，這是因?yàn)樗鼉?nèi)部每軸的運(yùn)動(dòng)都采用兩組壓電陶瓷差分式驅(qū)動(dòng)，如下圖所示。

使用說(shuō)明/位移曲線

由于差分驅(qū)動(dòng)，P16壓電平臺(tái)的開(kāi)/閉環(huán)位移曲線與非差分驅(qū)動(dòng)式壓電平臺(tái)的會(huì)略顯不同。以150V驅(qū)動(dòng)電壓為例，X軸方向的閉環(huán)位移與控制電壓的關(guān)系如下圖所示，Y軸方向的位移&電壓曲線與X軸相同。

閉環(huán)位移曲線

，在控制電壓為75V時(shí)，移動(dòng)平面的位置會(huì)回到施加電壓前的初始位置。

技術(shù)參數(shù)

型號(hào)：P16.XY100S/K

運(yùn)動(dòng)自由度：X Y

標(biāo)稱行程范圍：80或±40μm/軸@120V

行程范圍：100或±50μm/軸@150V

傳感器類(lèi)型：SGS

通孔尺寸：φ20mm

閉/開(kāi)環(huán)分辨率：10/5nm

閉環(huán)線性度：0.4%F.S.

閉環(huán)重復(fù)定位精度：0.1%F.S.

俯仰/偏航/滾動(dòng)：<25μrad

推/拉力：30N

運(yùn)動(dòng)方向剛度：0.5N/μm

空載諧振頻率：400Hz

閉/開(kāi)環(huán)空載階躍時(shí)間：10/1.6ms

閉環(huán)空載工作頻率：100Hz@10%行程

閉環(huán)空載工作頻率：10Hz@行程

承載能力：1.5kg

靜電容量：3.6μF/軸

材質(zhì)：鋼、鋁

重量：220g

注：P16.XY50S/K的位移范圍50μm或±25μm。

典型應(yīng)用

• 顯微成像 • 表面檢測(cè) • 干涉 / 計(jì)量 • 精密定位 • 光學(xué) • 微操作