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P76.Z50S/KA為小體積大負載Z軸壓電物鏡定位器，高度尺寸僅為37.5mm，負載能力可達500g，Z軸可實現50μm的直線運動范圍，采用柔性鉸鏈設計機構，無摩擦，直線性好，閉環版本定位精度高。分離式螺紋適配器設計，可適配多種型號的顯微鏡，是顯微成像、晶圓切割等應用的理想選擇。

特性

• 行程可達50μm

• 承載能力500g

• 毫秒級響應時間

• 閉環重復定位精度高

• 聚焦穩定性好

大負載 高頻響 高分辨率

P76.Z50S/KA是為了實現大負載、大孔徑物鏡在現代高分辨率顯微應用中達到超快的階躍時間而專門設計。堅固的設計使其即使帶載幾百克的物鏡也可以實現非常快的穩定時間及掃描頻率。多個壓電驅動器的旋轉對稱排列及撓曲和杠桿元件的優化設計，使它具有較高的剛度，同時保證了優異的導向精度和動態性。負載能力達500g，可兼容多光子顯微和共聚焦顯微應用中常用的大視場物鏡，也可匹配蔡司、奧林巴斯、徠卡等多種標準鏡頭。

閉環階躍時間

P76.Z50S/KA壓電物鏡定位器帶載500g，滿行程階躍時間約20ms。

技術參數

型號：P76.Z50S/KA

運動自由度：Z

行程范圍（0~120V）：40μm

行程范圍（0~150V）：50μm

閉環傳感器類型：SGS

閉/開環分辨率：5/2.5nm

閉環線性度：0.05%F.S.

閉環重復定位精度：0.02%F.S.

推/拉力：35/10N

運動方向剛度：0.8N/μm

空載諧振頻率：800Hz

閉/開環空載階躍時間：5/2ms

承載能力：0.5kg

靜電容量：3.2μF

材質：鋼、鋁

重量：510g