板卡式電荷感應(yīng)放大器
P76大負(fù)載P76壓電物鏡定位器
大行程P73芯明天壓電物鏡定位器
高動態(tài)P72芯明天壓電物鏡定位器
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P77Z芯明天直驅(qū)機(jī)構(gòu)式壓電掃描臺
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P16芯明天放大機(jī)構(gòu)式壓電掃描臺
N12芯明天放大機(jī)構(gòu)式壓電掃描臺
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XP-780系列芯明天放大機(jī)構(gòu)式壓電掃描臺
P93系列快速刀具定位臺
P92系列快速刀具定位臺
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XP-721芯明天壓電物鏡定位器
N63XY直驅(qū)機(jī)構(gòu)式壓電掃描臺
P79Z芯明天放大機(jī)構(gòu)式壓電位移臺
N20芯明天壓電旋轉(zhuǎn)臺
P21芯明天一維θz向壓電旋轉(zhuǎn)臺
XY軸/XYZ軸芯明天電容傳感式壓電定位臺XY軸
E51.B3S芯明天集成式壓電陶瓷驅(qū)動器
P51系列芯明天三維θxθyZ向壓電偏擺臺
N50芯明天二維θx, θz向壓電偏擺臺
P54芯明天二維θxθy向壓電偏擺臺
θx, θy, Z軸P36芯明天壓電移相器
P22P22一維θx向壓電偏轉(zhuǎn)鏡4mrad
P31p31芯明天二維θx,θy向壓電偏轉(zhuǎn)鏡
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